HfO2是什么?HfO2(氧化铪),也可被称为二氧化铪。带隙为5.3~5.7 eV,高介电常数,介电常数比SiO 2高4...

来源:雪球App,作者: 趋势超盈,(https://xueqiu.com/1678663536/284930407)

HfO2是什么?HfO2(氧化铪),也可被称为二氧化铪。带隙为5.3~5.7 eV,高介电常数,介电常数比SiO 2高4-6倍,是很好的绝缘体。氧化铪具有十分稳定的化学性质,它只与强酸和强碱发生反应。HfO2用在哪些芯片制程中?氧化铪(HfO2)由于其高介电常数(高K值)特性,在动态随机存取存储器(DRAM)电容器和FET器件中作为高K电介质材料得到了广泛应用。例如,在DRAM中,使用HfO2可以增加存储容量,降低芯片功耗等。